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一种晶圆智能储存仓制造技术
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下载一种晶圆智能储存仓的技术资料
文档序号:40097661
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本申请涉及晶圆存储的技术领域,尤其涉及一种晶圆智能储存仓,其包括仓体、自动登记机构、晶圆搬运机构、调度系统,仓体内设置有两个呈左右对称设置的放料架,自动登记机构的数量为两个且均设置于仓体内分别用于晶圆出库自动登记及进库自动登记,一个自动登记...
该专利属于李占胜所有,仅供学习研究参考,未经过李占胜授权不得商用。
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