温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供了一种磁控溅射靶材隔离装置及机构，涉及薄膜制备技术领域，包括固定安装于磁控溅射模块上的两个安装座、安装架和至少一个隔离板，两个安装座分设于冷却主辊的上方和下方，安装架的两端插接安装于两个安装座上，隔离板间隔安装于安装架上，用于对各...
该专利属于深圳金美新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳金美新材料科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。