下载一种无氯气电解再生酸性蚀刻液的方法的技术资料

文档序号:40095813

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本发明涉及一种无氯气电解再生酸性蚀刻液的方法,所述方法包括如下步骤:酸性蚀刻液进行蚀刻作业,得到蚀刻废液;所得蚀刻废液分别进入电解槽的阳极室和阴极室进行电解处理,所述阳极室得到的阳极液溢流至中转槽,然后回用于蚀刻作业中;所述阴极室得到铜与阴...
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