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含有量子阱的外延片、蓝绿双色Micro-LED阵列芯片及制备方法技术
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文档序号:40094766
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一种含有量子阱的外延片、蓝绿双色Micro‑LED阵列芯片及其制备方法。该外延片,包括:由下至上依次设置的蓝宝石衬底、第一掺杂层、蓝光多量子阱层、第二掺杂层、第三掺杂层、绿光多量子阱层和第四掺杂层;所述第一掺杂层、蓝光多量子阱层、第二掺杂层...
该专利属于清华大学深圳国际研究生院所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学深圳国际研究生院授权不得商用。
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