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本技术涉及一种超导腔超净装配用配件自动吹净装置，箱体外壳的底部设计为中空结构，托盘固定在箱体外壳的内部并采用多孔镂空设计，配件放置于托盘上；伺服电机带动喷嘴架沿导轨方向移动，通过喷嘴架向箱体机构的内部引入氮气以对配件进行吹扫，电磁阀与喷嘴架...
该专利属于中国科学院上海高等研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海高等研究院授权不得商用。

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