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一种新型等离子体发生装置制造方法及图纸
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下载一种新型等离子体发生装置的技术资料
文档序号:40087908
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一种新型等离子体发生装置,包括壳体和激发单元,壳体的一端设置有开口,激发单元安装在开口处并延伸至壳体外部;激发单元包括第一电极层、第二电极层和具有一端开口的桶形阻挡件;桶形阻挡件的内部设置有空腔,第一电极层位于空腔内,并与桶形阻挡件的内壁贴...
该专利属于山东神光航天科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东神光航天科技有限公司授权不得商用。
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