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一种催渗等离子氮碳共渗与类金刚石复合膜层的制备方法。其特征是由以下步骤组成:(1)催渗等离子氮碳共渗:将基材置于离子渗氮炉中,在50Pa以下,通入氮气∶氢气=2∶1~10∶1和含有稀土金属氧化物饱和的C1~3烷基醇溶液蒸汽的混合气体;(2)...
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