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一种可适应多尺寸硅片的花篮装置制造方法及图纸
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下载一种可适应多尺寸硅片的花篮装置的技术资料
文档序号:40086886
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本技术涉及一种可适应多尺寸硅片的花篮装置,包括:多个尺杆,被配置为至少能够限位出用于承载硅片的空间;支架,设有与所述尺杆相配合的装配槽;所述支架被配置为能够与所述尺杆可拆卸连接;多个垫块,能够可拆卸设置于所述尺杆与所述装配槽之间;其中,所述...
该专利属于清电光伏科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过清电光伏科技有限公司授权不得商用。
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