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本发明涉及气体压力传感器领域，公开了MEMS压阻式压力传感器，包括硅衬底、压阻桥组件、硅压力敏感膜组件、PMOS管组件、金属焊盘、硅压阻组件，所述压阻桥组件与硅压阻组件串联连接，所述压阻桥组件设置在硅压力敏感膜组件上，所述PMOS管组件设置...
该专利属于苏州锐光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州锐光科技有限公司授权不得商用。

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