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本发明公开了一种应用中气压气流反应溅射制备二氧化钛薄膜的方法以及制备太阳能电池的方法，该二氧化钛薄膜的制备方法包括如下步骤Ａ）将镀有透明导电膜的玻璃基片放入真空溅射镀膜设备的反应室中，对反应室抽真空；Ｂ）真空溅射镀膜设备的阴极装置具有一对相...
该专利属于苏州羿日新能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州羿日新能源有限公司授权不得商用。

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