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一种基于低温循环推结的硼扩散工艺制造技术
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文档序号:40075801
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本发明提供了一种基于低温循环推结的硼扩散工艺,包括预氧化、硼源沉积循环硼扩推结的步骤。本发明的工艺中硼扩散有氧推结时间与温度均较低,可以实现较高的表面浓度从而优化电池的接触电阻。...
该专利属于常州时创能源股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州时创能源股份有限公司授权不得商用。
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