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本发明提供了一种基于模糊自适应参数调整迭代前馈及干扰抑制的光刻机工件台运动控制方法，该控制方法的控制结构主要由模糊自适应迭代前馈控制器、模糊神经网络PID反馈以及基于迭代学习和干扰观测的复合扰动补偿控制器组成，提高了光刻机工件台轨迹跟踪速度...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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