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本发明属于光学测量相关技术领域，其公开了一种快照式椭偏测量方法及设备，所述设备包括光源、起偏臂、检偏臂、探测器及数据处理器；所述光源通过光纤连接于所述起偏臂，所述检偏臂设置在所述起偏臂的光路上，所述探测器设置在所述检偏臂的光路上；所述数据处...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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