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本发明公开了一种高质量氮化物薄膜的远程外延生长方法、复合衬底及应用。所述复合衬底包括衬底、压电极化层以及二维材料层;衬底与压电极化层的界面产生应力,且压电极化层的厚度低于临界厚度,以产生压电极化效应,产生的压电极化方向与衬底和压电极化层的自...该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种高质量氮化物薄膜的远程外延生长方法、复合衬底及应用。所述复合衬底包括衬底、压电极化层以及二维材料层;衬底与压电极化层的界面产生应力,且压电极化层的厚度低于临界厚度,以产生压电极化效应,产生的压电极化方向与衬底和压电极化层的自...