下载一种复合层式半导体级石英坩埚的技术资料

文档序号:40071142

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本技术涉及坩埚生产技术领域,且公开了一种复合层式半导体级石英坩埚,活动连接于锅架内部的锅体,固定连接于锅架内部的旋转电机,锅架包括底板、中心立柱、延伸架、左固定板和横梁,底板顶部固定安装有集尘器,左固定板左侧固定连接有第一液压缸,第一液压缸...
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