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一种太阳能电池硅片扩散炉制造技术
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下载一种太阳能电池硅片扩散炉的技术资料
文档序号:40066039
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本发明公开了一种太阳能电池硅片扩散炉,涉及光伏电池技术领域,包括炉体,和设于炉体内的炉膛,炉膛的尾端安装有磷源供给管;还包括:内驱环体;内驱环体包括外环座和内转环;外环座套设在炉膛内壁,且与炉膛内壁卡紧;内转环与外环座同轴布置,且与外环座转...
该专利属于徐州中辉光伏科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过徐州中辉光伏科技有限公司授权不得商用。
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