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本技术公开了一种清洁装置，包括清洁机构、检测机构和驱动机构，清洁机构用于清洁工件，检测机构包括识别器和电连接识别器的定位器，识别器用于识别工件待清洁区域，定位器用于采集待清洁区域的位置信息，驱动机构电连接定位器，驱动机构接收定位器采集的位置...
该专利属于上海芯丑半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海芯丑半导体设备有限公司授权不得商用。

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