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一种减少耦合损耗的硅光芯片制造技术
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下载一种减少耦合损耗的硅光芯片的技术资料
文档序号:40059764
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本发明公开了一种减少耦合损耗的硅光芯片,包括硅光芯片本体,所述硅光芯片本体上集成有若干高速可调光衰减器;还包括玻璃转换波导,所述玻璃转换波导的芯层包括用于与光纤芯层耦合的光纤耦合端以及用于与高速可调光衰减器的硅光波导耦合的芯片耦合端;所述光...
该专利属于四川梓冠光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川梓冠光电科技有限公司授权不得商用。
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