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扩散炉及光伏电池扩散工艺装置制造方法及图纸
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下载扩散炉及光伏电池扩散工艺装置的技术资料
文档序号:40059039
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本技术提供一种扩散炉及光伏电池扩散工艺装置。扩散炉,包括:炉体,所述炉体内设置有用于气体扩散的扩散腔;导流结构,所述导流结构设置在所述扩散腔内,所述导流结构用于引导所述扩散腔内的气体扩散,所述导流结构具有用于放置石英舟的容纳空间。本技术的扩...
该专利属于天合光能股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天合光能股份有限公司授权不得商用。
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