下载集成光学芯片及陀螺仪系统的技术资料

文档序号:40046969

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本申请公开了一种集成光学芯片及陀螺仪系统,集成光学芯片包括隔离组件、探测器、波导芯层和衬底,隔离组件包括第一隔离层,探测器和波导芯层均设于第一隔离层的顶面,隔离组件设于衬底之上,第一隔离层的顶面还具有沿高度方向凹陷设置的隔离槽,隔离槽围合形...
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