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本发明提供了一种避免钛薄膜氧化的高温高压吸气系统，涉及紧凑型氘氘加速器中子源在中子测量及辐照中应用的技术领域，利用高真空抽气机组对薄膜制备腔室和薄膜吸气腔室进行真空抽气，实现两腔室10<supgt;‑5</supgt;Pa量级高...该专利属于合肥综合性国家科学中心能源研究院（安徽省能源实验室）所有，仅供学习研究参考，未经过合肥综合性国家科学中心能源研究院（安徽省能源实验室）授权不得商用。