下载一种太赫兹肖特基二极管芯片及其制备方法、测试方法的技术资料

文档序号:40042941

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本发明实施例提供一种太赫兹肖特基二极管芯片及其制备方法、测试方法,属于太赫兹芯片技术领域。本发明能够通过在太赫兹肖特基二极管芯片电极层的侧面设置带凹槽的悬空梁式引线,梁式引线与电极层电连接,可实现在测试芯片时,芯片的电极层通过梁式引线与外部...
该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。

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