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本申请公开了一种热控结构,包括与加热对象直接接触的低精度加热器,所述低精度加热器的另一面固定有加热器基板,所述加热器基板的另一面固定有高精度加热器,所述高精度加热器的另一面固定有温度控制边界体,所述温度控制边界体的另一面固定有多个温度测试部...该专利属于长春国科精密光学技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长春国科精密光学技术有限公司授权不得商用。
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