温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种焦点位置可调的真空紫外激光产生装置及方法。该装置包括依次连接的入射窗口、非线性光学作用主体气体池、聚焦镜片及载镜法兰、出射窗口，以及聚焦镜片的三维调节装置；所述三维调节装置的下层板通过丝杆和光杆能够在沿光线入射方向移动；上层...
该专利属于华南师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南师范大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。