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送液方法、流路设备以及送液装置制造方法及图纸
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下载送液方法、流路设备以及送液装置的技术资料
文档序号:40020358
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本发明提供一种送液方法、流路设备以及送液装置,在流路中进行化学反应时,能够对溶液施加抑制气泡所需的压力,不需要先送液体,也能够应对往复送液。一种从导入到流路设备的溶液中除去气泡的送液方法,所述方法具备:配置工序,相对于所述第二腔室,在与所述...
该专利属于株式会社日立制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立制作所授权不得商用。
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