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本发明提供了一种光刻机、用于照明灯室的防污染装置及其设计方法，其中，所述防污染装置通过设置双流道结构的照明侧防护装置和单流道结构的灯室侧防护装置，能够在光学玻璃的两侧表面上形成空气保护层，实现对光学玻璃两侧表面的防护，进而能够阻止污染物污染...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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