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一种电容式压力敏感元件及传感器制造技术
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文档序号:40016600
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一种电容式压力敏感组件,其包括正对地密封接合并围成一安装腔的相对刚性的陶瓷基板和相对柔性的陶瓷膜片;陶瓷基板和陶瓷膜片的相对内侧表面的边缘各自设置有第一金属层和第二金属层,第二金属层与第二金属层之间相焊接;陶瓷基板和陶瓷膜片的相对内侧表面的...
该专利属于武汉飞恩微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉飞恩微电子有限公司授权不得商用。
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