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本技术提出一种隔膜泵保护电路及质谱仪，该隔膜泵保护电路包括：采集模块、比较模块以及隔膜泵转速调节模块；采集模块用于采集涡轮分子泵的转速值，并将生成的涡轮分子泵转速信号传输至比较模块；比较模块用于在涡轮分子泵转速信号对应的电压值大于预设电压阈...
该专利属于中元汇吉生物技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中元汇吉生物技术股份有限公司授权不得商用。

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