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本申请涉及一种抛光粉尘过滤装置及过滤方法，所述抛光粉尘过滤装置至少包括基座框架和固定在框架上方的过滤腔室；其中，所述基座框架内固定设置有风机系统以及粉尘排除机构，所述风机系统和粉尘排除机构分别与过滤腔室连通；所述过滤腔室具有顶盖，且所述过滤...
该专利属于北京中电科电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中电科电子装备有限公司授权不得商用。

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