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飞秒激光辅助刻蚀的非线性光学晶体微纳结构加工方法技术
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文档序号:40001861
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本发明公开了一种飞秒激光辅助刻蚀的非线性光学晶体微纳结构加工方法,包括如下步骤:(1)获取非线性光学晶体的损伤阈值,并测量在低于所述损伤阈值情况下完成不同深度的非线性光学晶体改性时的激光能量,形成加工深度‑激光能量对应关系;(2)按照所述加...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。
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