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本发明公开了一种集扫描聚焦于一体的VCSEL激光芯片，包括：基板，VCSEL激光阵列具有M×N个发光单元且焊接在基板表面；M×N个MEMS微转镜位于VCSEL激光阵列的上方，且与发光单元一一对应；M×N个反射镜正对MEMS微转镜的出光面，且...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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