温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种基于深度学习LHD模型的光刻热点检测方法及系统。本发明提出一种轻量化热点检测模型LHD，既降低了模型结构复杂度，参数量减少，并使用多尺度卷积核来处理不同类型的热点，并引入适当的池化层和批归一化层来加速训练和提高模型的鲁棒性。本...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。