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本发明公开了一种集成化片上红外甲烷传感器，包括：按照光传播方向依次设置的DFB激光器、传输媒介、平面光波导和光电探测器；其中，所述平面光波导远离光入射端的一端开设有缺口，所述缺口在所述平面光波导上形成反射斜面，入射光经所述反射斜面入射至所述...
该专利属于甬江实验室所有，仅供学习研究参考，未经过甬江实验室授权不得商用。

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