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本技术公开了一种具有分体结构的水冷铜坩埚，在每一个分体结构中均形成有若干瓣片，且相邻所述瓣片之间形成有供电磁场通过的缝隙；其中，每一个分体结构均包括冷却回路，且所述冷却回路包括供水水路与回水水路。采用本技术的坩埚，可以使坩埚的每一个部分都具...
该专利属于励德装备技术（宁波）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过励德装备技术（宁波）有限公司授权不得商用。

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