下载石英谐振器及其制造方法的技术资料

文档序号:39987811

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本说明书实施例提供一种石英谐振器及其制造方法,属于谐振器技术领域。所述石英谐振器件包括:阻尼单元;第一敏感单元,与所述阻尼单元键合;第二敏感单元;所述阻尼单元还与所述第二敏感单元键合;其中,各敏感单元和所述阻尼单元均是石英基材加工得到的石英...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十三研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第四十三研究所授权不得商用。

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