下载一种高精度光学监控系统的技术资料

文档序号:39986012

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本发明公开一种高精度光学监控系统,其包括可调激光发生装置、光控检测装置和信号处理装置;光控检测装置包括准直器、真空室和光控光探测器,真空室包括第一视窗玻璃、第二视窗玻璃,于真空室中设置有用于放置待镀膜产品的产品放置腔,产品放置腔与第二视窗玻...
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