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金属超表面-液晶-金属光栅结构的动态太赫兹波束偏折器制造技术
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文档序号:39983730
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本发明公开了金属超表面‑液晶‑金属光栅结构的动态太赫兹波束偏折器。本发明所述器件包括第一介质衬底层、金属超表面层、液晶层、金属光栅层、第二介质衬底层。通过将金属超表面层、液晶层、金属光栅层组成一个可调的光子谐振腔,可实现增强的腔内偏振模式转...
该专利属于南开大学所有,仅供学习研究参考,未经过南开大学授权不得商用。
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