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本发明提供了一种光纤接收电路的高传输速率的光电二极管及工艺方法。一种光纤接收电路的高传输速率的光电二极管,包括:N型衬底;N+区,所述N型衬底上部的两侧分别注入形成所述N+区,在所述N+区开接触孔引出光电二极管的正极;P‑区,在所述N型衬底...该专利属于江苏致芯微电子技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏致芯微电子技术有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种光纤接收电路的高传输速率的光电二极管及工艺方法。一种光纤接收电路的高传输速率的光电二极管,包括:N型衬底;N+区,所述N型衬底上部的两侧分别注入形成所述N+区,在所述N+区开接触孔引出光电二极管的正极;P‑区,在所述N型衬底...