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本技术提供了一种液氮入口浸入式高低温测试温度控制系统,包括气源进气口、控制器、控制系统、一号温控器;气源进气口分别管路连接至比例混合阀、灌流风机和测试腔,且上述三条管路上分别安装一个阀,比例混合阀还管路连接至液氮入口,且该管路上安装一号阀;...该专利属于天津金海通半导体设备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津金海通半导体设备股份有限公司授权不得商用。
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