下载一种高转化率的四氯化硅合成炉的技术资料

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本技术公开了一种高转化率的四氯化硅合成炉,涉及四氯化硅生产技术领域,包括炉体、门板、第一进气管、第二进气管、硅粉喷射管、第一放置板以及硅粉发射器,所述炉体侧部设有门板,所述炉体顶部左侧设有第一进气管,所述炉体顶部右侧设有第二进气管,所述炉体...
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