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一种高灵敏的方位角椭圆率同时测量装置及方法制造方法及图纸
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下载一种高灵敏的方位角椭圆率同时测量装置及方法的技术资料
文档序号:39953608
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本发明揭示了一种高灵敏的方位角椭圆率同时测量装置,装置具有射出激光束的激光器,沿着激光束的光路依次设有线偏振光产生模块、待测样品、半波片和偏振分光棱镜,所述偏振分光棱镜将激光束一分为二均射入平衡光探测器的第一通道和第二通道并完成差分,所述平...
该专利属于安徽师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过安徽师范大学授权不得商用。
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