温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种硅片检测缓存装置，包括第一流线和第二流线，第一流线与第二流线平行设置，第一流线与第二流线之间设置有水平导轨，水平导轨的两端分别位于第一流线、第二流线的上方，水平导轨的下方安装有导正机构；水平导轨上滑动安装有横移座，横移座能够...
该专利属于诺德凯（苏州）智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺德凯（苏州）智能装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。