温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了高温光波导传感器件及其制作方法，一种光波导传感器，包括如下结构：光波导基片介质由耐高温光学材料构成，在光波导基片上有线状光波导，线状光波导中有光栅结构，还公开了这种结构的几种制作方法；另一种光波导传感器，包括如下结构：光波导基片...
该专利属于无锡光芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡光芯科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。