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本发明涉及一种真空设备，包括：监测模块，其设计为用于监测真空设备的运行参数；和无线接口模块，其设计为用于与远离真空设备的评估装置的无线接口模块通信，并且将运行参数提供至评估装置。...
该专利属于普发真空技术股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过普发真空技术股份公司授权不得商用。

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