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基于碳纳米管叉指电极结构的传感器制造技术
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下载基于碳纳米管叉指电极结构的传感器的技术资料
文档序号:39929327
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本技术涉及碳基传感器技术领域,提供一种基于碳纳米管叉指电极结构的传感器,该传感器包括衬底、介电层、碳纳米管电极以及敏感材料层。多个碳纳米管电极被设置成叉指电极形状,构成敏感材料的附着区域。本技术使用碳纳米管薄片制成的叉指电极,尺寸在纳米级,...
该专利属于湘潭大学所有,仅供学习研究参考,未经过湘潭大学授权不得商用。
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