下载涂布装置用数据处理装置及方法、及存储介质的技术资料

文档序号:39929256

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本发明提供一种能够有效地保存涂布装置的数据的涂布装置用数据处理装置等。涂布装置(2)用数据处理装置(1)具备:原始数据获取部(11),获取对基材(3)实施涂布处理的涂布装置(2)的原始数据;统计数据生成部(13),对在规定的基准期间获取的一...
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