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本申请实施例提供了一种光刻掩膜生成模型的训练方法、装置、设备及存储介质，芯片和机器学习技术领域。所述方法包括：获取基于源数据集训练得到的第一光刻掩膜生成模型，源数据集包括至少一个源芯片版图以及源芯片版图对应的标准掩膜图，第一光刻掩膜生成模型...
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