下载硅片脱胶转运装置的技术资料

文档序号:39910313

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本申请公开了一种硅片脱胶转运装置,包括一对挡板,一对挡板相向的端面上固定有多个连接杆,一对挡板之间夹持有一对上撑杆和一对下撑杆,每个挡板上左右设有一对第一滑槽和一对第二滑槽,一对上撑杆的两端与一对挡板上的两对第一滑槽滑动连接,一对下撑杆的两...
该专利属于张家港市超声电气有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过张家港市超声电气有限公司授权不得商用。

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