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本发明涉及微型麦克风领域,具体指一种应用于电子设备上,具有更加灵敏度的电容MEMS(micro-electro-mechanical?system)麦克风振膜,它包括与背板构成电容系统的振膜单元,所述振膜单元包括位于中央位置悬置的内膜和外围...该专利属于瑞声声学科技(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过瑞声声学科技(深圳)有限公司授权不得商用。
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本发明涉及微型麦克风领域,具体指一种应用于电子设备上,具有更加灵敏度的电容MEMS(micro-electro-mechanical?system)麦克风振膜,它包括与背板构成电容系统的振膜单元,所述振膜单元包括位于中央位置悬置的内膜和外围...