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本发明公开了一种五氟化磷气体的制备方法，包括以下步骤：（1）将含磷化合物与氟化氢与有机酸酐脱水剂反应生成六氟磷酸溶液；（2）将所述六氟磷酸溶液加热分解成气态的氟化氢和五氟化磷；本发明除水效率高
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